新型高效光刻胶技术不仅显著提高了光刻效率和分辨率,还降低了光刻机及其配套光源的制造难度和成本,为半导体制造技术的发展提供了新的可能性。
本资料是收录涉及光刻胶研制单位、科研院所、高校科研优秀专利技术成果,生产型企业优秀技术,光刻胶上市公司优秀技术的全文技术资料,工艺配方详尽,技术含量高、从事高性能、高质量、光刻胶研究生产单位提高产品质量、开发新产品重要情报资料。
资料中包括制造原料、配方、生产工艺、产品性能测试及标准、实际应用效果,技术指标,解决的具体问题等等,是企业提高产品质量和发展新产品的重要、实用、超值和难得的技术资料。
【资料页数】783页 (大16开 A4纸)
【资料内容】制造工艺及配方
【项目数量】50项
【资料价格】合订本:1680元(上、下册)
【电脑光盘】电子版:1480元(PDF文档)
目录
1 | 一种负性光刻胶组合物及其应用 | 西安瑞联新材料股份有限公司 |
2 | 一种基于亚胺的高性能紫外屏蔽光刻胶及其制备方法 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
3 | 一种高分辨率的负性光刻胶及其制备方法与应用 | 盐城艾肯科技有限公司 |
4 | 一种使用分子层沉积制备晶圆级干式光刻胶的方法 | 南开大学 |
5 | 一种光刻胶组合物及其制备方法 | 万华化学集团股份有限公司 |
6 | 一类有机锡枝状化合物及其光刻胶组合物 | 南开大学 |
7 | 介孔氧化物包覆量子点的制备方法、量子点光刻胶及其制备方法、发光器件 | 镭昱光电科技(苏州)有限公司 |
8 | 一种用于有机绝缘膜的POSS基正性光刻胶组合物 | 烟台希尔德材料科技有限公司 |
9 | 一种苯乙烯类光刻胶树脂的合成方法 | 河北科技大学 |
10 | 一种延长Arf光刻胶保质期的添加剂、光刻胶组合物及其制备方法 | 上海艾深斯科技有限公司 |
11 | 一种用于提高光刻胶附着性的添加剂及其光刻胶组合物 | 上海艾深斯科技有限公司 |
12 | 紫外线光刻胶用树脂及其制备方法 | 上海极紫科技有限公司 |
13 | 一种含氟环氧化聚硅氧烷及其制备方法、光刻胶组合物和聚合物光波导器件 | 山东同益光刻胶材料科技有限公司 |
14 | 一种化学放大型光刻胶及其制备方法、使用方法和应用 | 江苏艾森半导体材料股份有限公司;艾森半导体材料(南通)有限公司 |
15 | 一种用于去除硅片光刻胶的方法 | 青岛金汇源电子有限公司 |
16 | 一种光刻胶组合物及制备方法和应用 | 上海镭利电子材料有限公司 |
17 | 一种高灵敏度光刻胶组合物及其制备方法 | 江西中科南新材料科技研发中心有限公司 |
18 | 一种光刻胶组合物制备及其应用 | 西安瑞联新材料股份有限公司 |
19 | 一种耐酸正性光刻胶及其制备方法和应用 | 广州亦盛环保科技有限公司 |
20 | 一种桥型结构光刻胶树脂和KrF光刻胶组合物及其制备方法 | 安徽恒坤新材料科技有限公司 |
21 | 一种粘附性好的ArF光刻胶组合物及其制备工艺 | 江西中科南新材料科技研发中心有限公司 |
22 | 小分子组合物、光刻胶组合物及在基板上形成图案的方法 | 连云港邃铸科技有限公司 |
23 | 一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法 | 珠海市容大感光科技有限公司 |
24 | 一种MIL-53-丙烯酸酯复合物及负性光刻胶和制备方法 | 上海艾深斯科技有限公司 |
25 | 无光引发剂的光刻胶的制备方法 | 烟台舜康生物科技有限公司 |
26 | 一种用微通道技术合成ArF光刻胶树脂与光刻胶的方法 | 宁波南大光电材料有限公司 |
27 | 一种基于碳量子点的光刻胶组合物及其应用 | 电子科技大学 |
28 | 一种基于动态硼酸酯键的双光子聚合3D打印光刻胶及其制备方法和应用 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
29 | 聚酰亚胺正性光刻胶组合物及其应用 | 上海泽丰半导体科技有限公司;华东理工大学 |
30 | 一种基于邻苯三酚衍生物的负性光刻胶及其制备方法与在制备透明导电薄膜中的应用 | 山东大学 |
31 | 基于三蝶烯的多硫鎓盐单分子树脂光刻胶及其制备方法 | 中国科学院理化技术研究所 |
32 | 一种高DOP的光敏聚酰亚胺光刻胶组合物及其应用 | 万华化学集团股份有限公司 |
33 | 一种双光子聚合3D打印光刻胶及其制备方法 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
34 | 一种基于三线态湮灭光子上转换的水溶性光刻胶的制备方法 | 苏州威迈芯材半导体有限公司 |
35 | 光刻胶组合物及其制备方法和应用 | 北京北旭电子材料有限公司;北旭(湖北)电子材料有限公司;上海彤程电子材料有限公司;彤程新材料集团股份有限公司 |
36 | 一种量子点光刻胶及其制备方法和应用 | 镭昱光电科技(苏州)有限公司 |
37 | 一种丙烯酸酯光刻胶成膜树脂和ArF光刻胶及其制备方法与应用 | 福建泓光半导体材料有限公司 |
38 | 一种氢敏双光子光刻胶及其制备方法与应用 | 深圳大学 |
39 | 一种实现简易去胶的飞秒激光光刻胶及其制备、去胶方法 | 浙江扬帆新材料股份有限公司 |
40 | 改性聚丙烯酸树脂及其制备方法和光刻胶 | 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 |
41 | 一种光刻胶树脂单体的制备方法 | 安徽秀朗新材料科技有限公司 |
42 | 一种光刻胶组合物及光刻胶图案化方法 | 长沙韶光芯材科技有限公司 |
43 | 一种桥型结构光刻胶树脂和KrF光刻胶组合物及其制备方法 | 安徽恒坤新材料科技有限公司 |
44 | 一种高粘度光刻胶树脂的制备方法 | 明士新材料有限公司 |
45 | 半导体光刻胶组合物以及使用组合物形成图案的方法 | 三星SDI株式会社 |
46 | 一种光刻胶组合物及其制备方法 | 上海艾深斯科技有限公司 |
47 | 一种增强型负性光刻胶及其制备方法 | 上海艾深斯科技有限公司 |
48 | 一种耐刻蚀的ArF光刻胶及其制备方法 | 瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司 |
49 | 一种KrF正性光刻胶及其制备方法 | 瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司 |
50 | 一种正性光刻胶及其制备方法 | 瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司 |
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